正常生產運行，三氯氫硅合成崗位的袋式過濾器排渣操作，尾氣淋洗塔在無任何火源的情況下突然發生爆炸；其主要原因是氯化氫氣體中含游離氯或游離氯偏高引發爆炸；其原理為：三氯氫硅合成后的氫氣含量約55%~57%，排出的氣體失去了密閉、與空氣混合，在有游離氯的情況下，遇到光就會發生爆炸。處理方法：生產過程中游離氯對生產和安全危害極大，因此氯化氫崗位操作人員應加強取樣分析，嚴格的控制氯化氫中游離氯的存在；控制氯化氫氣體中氯氣含量小于96%，使氯化氫氣體中的氫氣過剩。 

    氯化氫氣體合成器出口管泄漏，其原因是該管道長期在高溫狀態下運行，金屬疲勞或減薄，耐壓程度降低所致。處理方法：經常對該管道實施測厚和分析，及時更換該段管道。

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