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高純度電子特氣凈化技術(shù)


創(chuàng)建時間 2018-05-09 16:19:14

   隨著氣體行業(yè)的發(fā)展,尤其是特氣行業(yè),對氣體分析儀器的要求越來越高,在這樣的條件下,氦放電離子化檢測器(DID)氣相色譜儀及時解決了分析行業(yè)的難題.著重概述在高純氦氣、高純氪氣、高純氙氣、高純氯化氫氣體、砷烷等特氣分析中的應(yīng)用.

   電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè),或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的凈化愈加關(guān)鍵和重要。目前國內(nèi)的超高純度凈化技術(shù)主要依賴進口,自身的技術(shù)水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設(shè)計和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行末端凈化,使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級,并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小,從而極大地改善工藝能力,降低產(chǎn)品缺陷, 提高制程的產(chǎn)量,滿足下一代半導(dǎo)體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。本項目將形成有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技術(shù),解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國產(chǎn)化問題.

   山東言赫化工有限公司作為地區(qū)專業(yè)的氯化氫產(chǎn)品研發(fā)供應(yīng)機構(gòu),公司代理的各種不同類型的氯化氫、高純氯氣、高純液氯等特氣產(chǎn)品不僅質(zhì)量上乘,而且產(chǎn)品純度高,在實際的工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用,深受廣大需求廠家的好評,值得信賴,歡迎咨詢選購。咨詢電話:15615637878